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湿法刻蚀工艺加工方法 湿法刻蚀液配方装置技术资料

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  湿法刻蚀工艺加工方法 湿法刻蚀液配方装置技术资料

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   1 02137192.X Silk刻蚀后的湿法去胶工艺 联系电话:1331 00*1877+8
   2 00808596.X 采用各向异性湿法刻蚀的宽展沟槽的方法
   3 200610030533.X 湿法刻蚀工艺中的颗粒检测装置
   4 200610024251.9 一种制作相变存储器用的湿法刻蚀液及其湿法刻蚀工艺
   5 200510019052.4 一种硅湿法刻蚀工艺
   6 200510043070.6 基于湿法刻蚀MEMS压印模板制造工艺
   7 200410084265.0 一种选择性氮氧化硅湿法刻蚀液
   8 200610027008.2 用硅湿法刻蚀和键合工艺制备相变存储器的方法
   9 200610040806.9 基于干法刻蚀和湿法腐蚀工艺制备硅纳米结构的方法
   10 201010027216.9 用于形成特殊浅沟槽隔离的湿法刻蚀工艺方法
   11 201010022521.9 一种氧氮氧多晶硅层间介质湿法刻蚀方法
   12 201010022610.3 对用于湿法刻蚀的溶液进行预处理的方法
   13 201010620680.9 ***联系电话:1331 00*1877+8  一种湿法刻蚀监控方法
   14 201010027344.3 用于硅衬底湿法刻蚀的直接光刻胶掩膜的光刻工艺方法
   15 201010102405.8 通过湿法刻蚀来制造具有浅沟槽隔离结构的硅片的方法
   16 201110078480.X 一种湿法腐蚀与干法刻蚀相结合图形化蓝宝石的方法
   17 201110129985.4 一种选择性湿法刻蚀制备内嵌碳纳米管沟槽结构的方法
   18 201110146553.4 应用于氧化物薄膜晶体管阵列湿法刻蚀的阻挡层
   19 201110112184.7 一种扩散面水膜保护湿法刻蚀工艺
   20 201110342073.5 场氧化物湿法刻蚀方法以及半导体器件
   21 201010276031.1 使用湿法刻蚀制备超级结器件的方法
   22 201110160315.9 一种监测由于湿法刻蚀造成有源区损伤的测试方法
   23 201110110334.0 通过湿法刻蚀调节栅极侧壁层特征尺寸的工艺
   24 201110110381.5 一种湿法清洗等离子体刻蚀残留物的方法
   25 201010574471.5 确定湿法刻蚀工艺窗口的方法
   26 201110388453.2 湿法刻蚀清洗设备以及湿法刻蚀清洗方法
   27 201110145769.9 一种湿法刻蚀设备及方法
   28 201110043311.2 用于改善湿法刻蚀金属工艺的方法 联系电话:1331 00*1877+8
   29 201210278579.9 一种提高发射极方块电阻的湿法刻蚀工艺
   30 201210323737.8 提高制绒或湿法刻蚀设备各轨道腐蚀量均匀性的方法
   31 201110160197.1 补液装置及包括该补液装置的太阳电池片的湿法刻蚀系统
   32 201210536724.9 单晶硅中阶梯光栅的湿法刻蚀方法
   33 201120025086.5 单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置
   34 201120516758.2 一种盖板、湿法刻蚀槽和湿法刻蚀设备
   35 201120495342.7 一种太阳能电池湿法刻蚀设备的排风装置
   36 201220111852.4 太阳能硅电池湿法刻蚀机气帘保护装置
   37 01817645.3 湿法刻蚀方法
   38 200310112618.9 锆钛酸铅铁电薄膜的湿法刻蚀方法
   39 200810042663.4 一种氧化物薄膜的湿法刻蚀装置
   40 200710094149.0 减少湿法刻蚀颗粒污染的方法
   41 200910055897.7 提高湿法刻蚀性能的方法
   42 200810116414.5 利用光辅助氧化湿法刻蚀Ⅲ族氮化物的方法
   43 200910055896.2 湿法刻蚀中避免发生侧向侵蚀的方法
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   45 200910232938.5 钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的湿法刻蚀方法
   46 200910216161.3 一种用于铋基薄膜湿法刻蚀的刻蚀液
   47 200910057523.9 **联系电话:1331 00*1877+8  湿法刻蚀的图形定义方法
   48 201010286212.2 一种用于MEMS结构制备的金属湿法刻蚀装置及刻蚀工艺
   49 201110388463.6 湿法刻蚀清洗设备
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   51 201010578148.5 一种用于P型圆片的湿法硅刻蚀液
   52 201210060376.2 一种硅片的湿法刻蚀方法及太阳能电池生产方法
   53 201010623141.0 刻蚀液补给装置、补给方法和具该装置的湿法刻蚀设备
   54 201010588030.0 一种SiC单晶平整度的调整方法—湿法刻蚀
   55 201110423218.4 一种湿法刻蚀工艺
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   57 201210026626.0 Mn-Co-Ni-O热敏薄膜的湿法刻蚀方法
   58 201110027377.2 单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置
   59 201210165938.X 一种ZnO基透明导电薄膜湿法刻蚀方法
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   63 200920074713.7 机械手搬运的湿法刻蚀槽式机台
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   67 201120205117.5 一种湿法刻蚀槽
   68 201120270194.9 湿法刻蚀设备  联系电话:1331 00*1877+8

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