电子纸的阵列基板及其制造方法和电子纸的制作方法

日期:2019-06-12 21:37:09

电子纸的阵列基板及其制造方法和电子纸的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种用于电子纸的阵列基板,其中,所述阵列基板包括多条信号发射线、多条感应信号线和多个光敏薄膜晶体管,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极设置在所述感应信号线上,所述信号发射线与所述光敏薄膜晶体管的栅极相连,所述光敏薄膜晶体管的有源层的位置与所述电子纸中相邻两个电子墨水之间的间隙相对应。本发明还提供上述阵列基板的制造方法和包括所述阵列基板的电子纸。通过在电子纸的阵列基板上增设光敏薄膜晶体管可以实现对电子纸的触控操作。
【专利说明】电子纸的阵列基板及其制造方法和电子纸
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示【技术领域】,具体地,涉及一种电子纸的阵列基板及其制造方法和一种包括该阵列基板的电子纸。
【背景技术】
[0002]现有的电子纸通常包括对盒的阵列基板和透明电极基板以及设置在阵列基板和透明基板之间的电子墨水。阵列基板上设置有薄膜晶体管,薄膜晶体管控制像素电极与公共电极之间的电场。当电场为负时,电子墨水中的白色离子在上方显示,当电场为正时,电子墨水中的黑色离子在上方显示。但是,目前的电子纸尚不具备触控的功能,从而影响了电子纸的使用性能。
[0003]因此,如何使得电子纸具有触控的功能成为本领域亟待解决的技术问题。

【发明内容】

[0004]本发明的目的在于提供一种电子纸的阵列基板及其制造方法和一种包括该阵列基板的电子纸,该电子纸可以实现触控操作。
[0005]为了实现上述目的,作为本发明的一个方面,提供一种用于电子纸的阵列基板,其中,所述阵列基板包括多条信号发射线、多条感应信号线和多个光敏薄膜晶体管,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极设置在所述感应信号线上,所述信号发射线与所述光敏薄膜晶体管的栅极相连,所述光敏薄膜晶体管的有源层的位置与所述电子纸中相邻两个电子墨水之间的间隙相对应。
[0006]优选地,所述阵列基板包括多条栅线、多条数据线和多个开关薄膜晶体管,所述开关薄膜晶体管的栅极与所述栅线相连,所述开关薄膜晶体管的源极设置在所述数据线上,所述开关薄膜晶体管的漏极与像素电极电连接,且所述开关薄膜晶体管的栅极与所述光敏薄膜晶体管的栅极位于同一层,所述开关薄膜晶体管的源极和漏极与所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极位于同一层,所述开关薄膜晶体管的有源层与所述光敏薄膜晶体管的有源层位于同一层,且所述开关薄膜晶体管的有源层上方设置有用于挡光的挡光金属层。
[0007]优选地,所述光敏薄膜晶体管的漏极与开关薄膜晶体管的源极连接,所述感应信号线与所述数据线形成为一体。
[0008]优选地,所述光敏薄膜晶体管的栅极上形成有公共电极,所述信号发射线与所述栅线形成为一体。
[0009]优选地,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极与所述光敏薄膜晶体管的有源层位于同一层,
[0010]所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极由碳纳米管材料制成,所述光敏薄膜晶体管的有源层由利用紫外线照射氧气处理过的碳纳米管材料制得;或者
[0011]所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极由石墨烯材料制成,所述光敏薄膜晶体管的有源层由利用氢气或氩气处理石墨烯材料制得。[0012]优选地,所述阵列基板的最顶层设置有像素电极,所述像素电极与所述开关薄膜晶体管的漏极电连接。
[0013]作为本发明的另一个方面,提供一种电子纸,该电子纸包括对盒的阵列基板和透明电极基板,所述电子纸还包括设置在所述阵列基板和所述透明电极基板之间的电子墨水,其中,所述阵列基板为本发明所提供的上述阵列基板,所述电子纸还包括触摸驱动电路和触摸控制电路,所述触摸驱动电路包括触摸驱动单元和触摸感应单元,所述触摸驱动单元与所述信号发射线相连,向所述信号发射线提供触控驱动信号,所述触摸感应单元与所述感应信号线相连,向所述感应信号线提供感应信号,所述触摸控制电路与所述感应信号线相连,且所述触摸控制电路能够接收所述感应信号线的电信号。
[0014]优选地,所述电子纸的工作周期包括触控周期和显示周期,所述电子纸还包括显示控制器,所述阵列基板的栅线和数据线与所述显示控制器电连接,在所述触控周期内,所述触摸驱动电路提供所述触控驱动信号和所述感应信号,在所述显示周期内,所述显示控制器提供显示信号。
[0015]作为本发明的再一个方面,提供一种用于电子纸的阵列基板的制造方法,其中,所述制造方法包括:
[0016]形成包括信号发射线和光敏薄膜晶体管的栅极的图形,其中,所述光敏薄膜晶体管的栅极与所述信号发射线相连;
[0017]在阵列基板上对应于电子纸的两个电子墨水之间的间隙的位置形成包括所述光敏薄膜晶体管的有源层的图形;
[0018]形成包括所述光敏薄膜晶体管的源极、漏极以及感应信号线的图形,其中,所述光敏薄膜晶体管的源极和所述光敏薄膜晶体管的漏极设置在所述感应信号线上。
[0019]优选地,在形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的同时形成阵列基板的开关薄膜晶体管的有源层;
[0020]在形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的同时形成所述开关薄膜晶体管的源极和漏极以及所述阵列基板的数据线;
[0021]在形成所述光敏薄膜晶体管的栅极的同时形成所述开关薄膜晶体管的栅极以及所述阵列基板的栅线;
[0022]在所述开关薄膜晶体管的有源层的上方形成包括挡光金属层的图形,该挡光金属层与所述开关薄膜晶体管的有源层间隔设置,且遮挡射向所述开关薄膜晶体管的有源层的光线。
[0023]优选地,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极与开关薄膜晶体管的源极和漏极串联,所述感应信号线与所述数据线形成为一体;和/或,所述信号发射线与所述栅线形成为一体。
[0024]优选地,形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的步骤以及形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的步骤同步进行,包括:
[0025]利用碳纳米管材料形成导电材料层;
[0026]在所述导电材料层上涂敷光刻胶;
[0027]对所述光刻胶上与所述光敏薄膜晶体管的有源层对应的部分进行半曝光后灰化,形成对应于所述光敏薄膜晶体管的有源层的通孔;[0028]利用氧气对由所述通孔对应的材料进行处理,然后利用紫外线照射经氧气处理的碳纳米管材料,以获得所述光敏薄膜晶体管的有源层,所述光敏薄膜晶体管的有源层两侧的部分分别形成为所述光敏薄膜晶体管的源极和所述光敏薄膜晶体管的漏极。
[0029]优选地,形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的步骤以及形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的步骤同步进行,包括:
[0030]利用石墨烯材料形成导电材料层;
[0031 ] 在所述导电材料层上涂敷光刻胶;
[0032]对所述光刻胶上与所述光敏薄膜晶体管的有源层对应的部分进行半曝光后灰化,形成对应于所述光敏薄膜晶体管的有源层的通孔;
[0033]利用氢气或氩气对由所述通孔对应的材料进行处理,以获得所述光敏薄膜晶体管的有源层,所述有源层上两侧的部分分别形成为所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极。
[0034]优选地,所述制造方法还包括:
[0035]在形成所述光敏二极管的栅极后,在该光敏二极管的栅极上形成公共电极。
[0036]通过在电子纸的阵列基板上增设光敏薄膜晶体管可以实现对电子纸的触控操作。
【专利附图】

【附图说明】
[0037]附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0038]图1是本发明所提供的阵列基板的第一种实施方式的示意图;
[0039]图2是包括本发明所提供的阵列基板的第二种实施方式的电子纸的示意图;
[0040]图3是本发明所提供的阵列基板的一部分等效电路图;
[0041]图4是制造图2中所示的阵列基板的流程图。
[0042]附图标记说明
[0043]10:光敏薄膜晶体管
[0044]11:光敏薄膜晶体管的栅极
[0045]12:光敏薄膜晶体管的有源层
[0046]13:光敏薄膜晶体管的源极
[0047]14:光敏薄膜晶体管的漏极
[0048]20:开关薄膜晶体管
[0049]21:开关薄膜晶体管的栅极
[0050]22:开关薄膜晶体管的有源层
[0051]23:开关薄膜晶体管的源极
[0052]24:开关薄膜晶体管的漏极
[0053]25:金属遮挡层
[0054]30:公共电极
[0055]40:栅绝缘层
[0056]50 =PVX 保护层
[0057]60:像素电极
[0058]70:隔垫物[0059]80:电子墨水
[0060]91:透明电极
[0061]92:柔性基板
[0062]110:信号发射线
[0063]120:感应信号线
[0064]210:栅线
[0065]220:数据线
【具体实施方式】
[0066]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
[0067]作为本发明的一个方面,如图1至图3中所示,提供一种用于电子纸的阵列基板,其中,所述阵列基板包括多条信号发射线110、多条感应信号线120和多个光敏薄膜晶体管10,光敏薄膜晶体管10的源极和漏极设置在感应信号线120上,信号发射线110与光敏薄膜晶体管10的栅极相连,光敏薄膜晶体管的有源层12的位置与所述电子纸中相邻两个电子墨水80之间的间隙相对应。
[0068]在将所述阵列基板用于电子纸中时,所述信号发射线和感应信号线与触摸驱动电路连接。触摸驱动电路包括触摸驱动单元和触摸感应单元,触摸驱动单元与所述信号发射线相连,并逐行扫描所述驱动信号发射线,触摸感应单元与感应信号线相连,为感应信号线提供感应信号,感应信号线还与触摸控制电路连接,触摸控制电路用于探测感应信号线上的感应信号。
[0069]在没有触摸操作时,光敏薄膜晶体管10处于导通状态,感应信号线120上的电流不发生变化;存在触摸操作时,操作者的手指将触摸点处光敏薄膜晶体管10上方的光线挡住,触摸控制单元能够检测到通过感应信号线120的电流发生变化,并因此确定触摸点X方向的坐标,触摸驱动单元为触摸驱动单元提供触摸扫描信号,并且触摸扫描信号的频率非常高(例如,大于50Hz),当手指将触摸点处的光敏薄膜晶体管10上方的光线挡住,且与触摸点处的信号发射线收到触摸扫描信号时,光敏薄膜晶体管10再次导通,使触摸点处的光敏薄膜晶体管10瞬间再次导通,因此,与触摸点处的光敏薄膜晶体管10相连的感应信号线上再次电流发生变化,可以根据接收到扫描信号的信号发射线110可以确定触摸点y方向的坐标。由于触摸扫描信号的频率非常高,因此,触摸点处光敏薄膜晶体管10相连的感应信号线上再次电流变化持续的时间非常短,远低于操作者触摸时间,因此,可以很容易地判断出触摸点的位置坐标。
[0070]通过在电子纸的阵列基板上增设光敏薄膜晶体管10可以实现对电子纸的触控操作。
[0071]通常,所述阵列基板包括多条栅线210、多条数据线220和多个开关薄膜晶体管20,开关薄膜晶体管20的栅极与栅线210相连,所述开关薄膜晶体管的源极23设置在数据线上,开关薄膜晶体管的漏极24与像素电极60相连。
[0072]在图1中所示的阵列基板中,光敏薄膜晶体管的有源层与该光敏薄膜晶体管的源极、漏极分别位于两个不同的层中,同样地,开关薄膜晶体管的有源层和该开关薄膜晶体管的源极和漏极也分别位于两个不同的层中。
[0073]为了便于制造,如图2中所示,可以将开关薄膜晶体管的栅极21与光敏薄膜晶体管的栅极11设置在同一层,将开关薄膜晶体管的源极23和开关薄膜晶体管的漏极24与光敏薄膜晶体管的源极13和光敏薄膜晶体管的漏极14设置在同一层,将开关薄膜晶体管的有源层22与光敏薄膜晶体管的有源层12设置在同一层。这样可以在形成光敏薄膜晶体管的10同时形成开关薄膜晶体管20,从而提高制造阵列基板的效率。
[0074]由于光敏薄膜晶体管的有源层12为光敏材料,因此,开关薄膜晶体管的有源层22也由光敏材料制成,为了防止光线影响电子纸的正常显示,优选地,可以在开关薄膜晶体管的有源层22上方设置用于挡光的挡光金属层25。众所周知的是,栅极材料为光敏材料的薄膜晶体管的导通和关闭不仅仅能够被光线条件的控制,也能够被栅极电压的控制。当栅极电压达所述薄膜晶体管的导通的阈值电压时,所述薄膜晶体管也可以导通。开关薄膜晶体管就属于没有光线照射,但是栅极电压达到阈值电压时导通的情况。因此,在开关薄膜晶体管的有源层22的上方设置挡光金属层25并不会影响开关薄膜晶体管的正常工作。
[0075]为了节约材料并简化阵列基板的结构,优选地,所述光敏薄膜晶体管的漏极14与开关薄膜晶体管的源极23串联,感应信号线120与数据线220形成为一体。当感应信号线120与数据线220形成为一体时,需要对阵列基板进行分时显示,即,阵列基板的信号周期可以分为显示周期和触控周期,在显示周期内,感应信号线120用作数据线,接收灰阶信号;在触控周期内,感应信号线120接收触控感应信号。
[0076]进一步优选地,光敏薄膜晶体管的栅极上形成有公共电极30,同时,信号发射线110与栅线210形成为一体。公共电极30的作用在于与像素电极60形成电容,以产生控制电子墨水显示的电场。由于信号发射线110与栅线210形成为一体,因此,在显示周期内,信号发射线110用作栅线,接收扫描信号;在触控周期内,信号发射线接收触控驱动信号。
[0077]为了简化阵列基板的制造步骤,优选地,所述光敏薄膜晶体管的源极13和光敏薄膜晶体管的漏极14与所述光敏薄膜晶体管的有源层12位于同一层,所述光敏薄膜晶体管的源极13和光敏薄膜晶体管的漏极14由碳纳米管材料制成,光敏薄膜晶体管的有源层12由利用紫外线照射氧气处理过的碳纳米管材料制得。利用紫外线照射氧气处理过的碳纳米管材料可以将碳纳米管材料由导体转换为光敏的半导体。或者,所述光敏薄膜晶体管的源极13和光敏薄膜晶体管的漏极14由石墨烯材料制成,光敏薄膜晶体管的有源层12由利用氢气或氩气处理石墨烯材料制得。利用氢气或氩气处理石墨烯材料能够将石墨烯材料转换为光敏半导体。如上文中所述,同时形成光敏薄膜晶体管10和开关薄膜晶体管20,因此,所述开关薄膜晶体管的源极23和开关薄膜晶体管的漏极24与所述开关薄膜晶体管的有源层22位于同一层,所述开关薄膜晶体管的源极23和开关薄膜晶体管的漏极24由碳纳米管材料制成,开关薄膜晶体管的有源层22由利用紫外线照射氧气处理过的碳纳米管材料制得;或者所述开关薄膜晶体管的源极23和开关薄膜晶体管的漏极24由石墨烯材料制成,开关薄膜晶体管的有源层22由利用氢气或氩气处理石墨烯材料制得。
[0078]下文中将具体如何在同一层中制造光敏薄膜晶体管的源极、漏极和有源层以及开关薄膜晶体管的源极、漏极和有源层,这里先不赘述。
[0079]通常,所述阵列基板的最顶层为像素电极,所述像素电极与所述开关薄膜晶体管的漏极24电连接。[0080]作为本发明的另一个方面,如图3所示,提供一种电子纸,该电子纸包括对盒的阵列基板和透明电极基板,所述电子纸还包括设置在所述阵列基板和所述透明电极基板之间的电子墨水,其中,所述阵列基板为本发明所提供的上述阵列基板,所述电子纸还包括触摸驱动电路和触摸控制电路,所述触摸驱动电路包括触摸驱动单元和触摸感应单元,所述触摸驱动单元与所述信号发射线相连,向所述信号发射线提供触控驱动信号,所述触摸感应单元与所述感应信号线相连,向所述感应信号线提供感应信号,所述触摸控制电路与所述感应信号线相连,且所述触摸控制电路能够接收所述感应信号线的电信号。
[0081]本发明所提供的电子纸的阵列基板中设置有光敏薄膜晶体管,因此,可以实现对电子纸的触控操作。上文中已经详细地描述了确定触摸点位置坐标的过程,这里不再赘述。
[0082]如图2中所示,所述电子纸的透明电极基板包括柔性基板92和设置在柔性基板上的透明电极91。与现有技术相同的是,在阵列基板和透明电极基板之间设置有隔垫物70。
[0083]如上文中所述,当所述栅线与所述信号发射线形成为一体,所述感应信号线与所述数据线形成为一体时,所述电子纸的工作周期包括触控周期和显示周期,所述电子纸还包括显示控制器,所述阵列基板的栅线和数据线与所述显示控制器电连接,在所述触控周期内,所述触摸驱动电路提供所述触控驱动信号和所述感应信号,在所述显示周期内,所述显示控制器提供显示信号。
[0084]作为本发明的还一个方面,如图4所示,提供一种本发明所提供的上述阵列基板的制造方法,其中,所述制造方法包括:
[0085]形成包括信号发射线(未示出)和所述光敏薄膜晶体管的栅极11的图形,其中光敏薄膜晶体管的栅极11与所述信号发射线相连;
[0086]在阵列基板上对应于电子纸的两个电子墨水之间的间隙的位置形成包括光敏薄膜晶体管的有源层12的图形;
[0087]形成包括所述光敏薄膜晶体管的源极13、所述光敏薄膜晶体管的漏极14以及感应信号线的图形,其中,所述光敏薄膜晶体管的源极13和所述光敏薄膜晶体管的漏极14设置在所述感应信号线(未示出)上。
[0088]应当理解的是,上述步骤的顺序并不是固定的,可以根据所述光敏薄膜晶体管的具体类型来确定上述各个步骤的顺序,例如,当所述光敏薄膜晶体管具有顶栅结构时,先进行形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的步骤,再进行形成所述光敏薄膜晶体管的栅极的步骤;当所述光敏薄膜晶体管具有底栅结构时,先形成所述光敏薄膜晶体管的栅极,再形成所述光敏薄膜晶体管的有源层。
[0089]此外,在本发明中,对形成包括信号发射线和光敏薄膜晶体管的栅极的图形、包括所述光敏薄膜晶体管的有源层的图形以及包括所述光敏薄膜晶体管的源极、漏极以及感应信号线的图形的方法并没有具体的限定,例如,可以通过打印、转印等方式形成上述图形,也可以通过传统的光刻工艺形成上述图形。
[0090]如上文中所述,可以同步形成所述光敏薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管。因此,所述制造方法可以包括:
[0091]在形成所述光敏薄膜晶体管的有源层12的同时形成阵列基板的开关薄膜晶体管的有源层22 ;
[0092]在形成所述光敏薄膜晶体管的源极13和光敏薄膜晶体管的漏极14的同时形成所述开关薄膜晶体管的源极23和开关薄膜晶体管的漏极24 ;
[0093]在形成所述光敏薄膜晶体管的栅极11的同时形成所述开关薄膜晶体管的栅极21以及所述阵列基板的栅线;
[0094]在形成所述感应信号线的同时形成所述阵列基板的数据线;
[0095]在所述开关薄膜晶体管的有源层的上方形成挡光金属层,该挡光金属层与所述开关薄膜晶体管的有源层间隔设置,且遮挡射向所述开关薄膜晶体管的有源层的光线。此处所述的“挡光金属层与所述开关薄膜晶体管的有源层间隔设置”是指挡光金属层没有与有源层直接接触。例如,可以将挡光金属层设置在PVX保护层50的上方。
[0096]如上文中所述,所述数据线与所述感应信号线可以形成为一体,在这种情况中,所述光敏薄膜晶体管的漏极与所述开关薄膜晶体管的源极串联。和/或,所述信号发射线与所述栅线形成为一体。
[0097]在图2中所示的阵列基板中,光敏薄膜晶体管的源极、漏极和有源层位于同一层,可以通过如下方法获得图2中所示的结构。如图4所示,形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的步骤以及形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的步骤同步进行,包括:
[0098]利用碳纳米管材料形成导电材料层A ;
[0099]在所述导电材料层上涂敷光刻胶B ;
[0100]对所述光刻胶上与所述光敏薄膜晶体管的有源层对应的部分进行半曝光后灰化处理,形成对应于所述光敏薄膜晶体管的有源层的通孔12’ ;
[0101]利用氧气对由所述通孔12’对应的材料进行处理,然后利用紫外线照射经过氧气处理的碳纳米管材料,以获得所述光敏薄膜晶体管的有源层。于此同时,所述光敏薄膜晶体管的有源层两侧的部分分别形成为所述光敏薄膜晶体管的源极和所述光敏薄膜晶体管的漏极。利用紫外线照射经过氧气处理的碳纳米管材料可以使碳纳米管材料由导体转换为光敏半导体。
[0102]作为本发明的另一种实施方式,形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的步骤以及形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的步骤同步进行,包括:
[0103]利用石墨烯材料形成导电材料层A ;
[0104]在所述导电材料层上涂敷光刻胶B ;
[0105]对所述光刻胶上与所述光敏薄膜晶体管的有源层对应的部分进行半曝光后灰化处理,形成对应于所述光敏薄膜晶体管的有源层的通孔12’ ;
[0106]利用氢气或氩气对由所述通孔12’对应的材料进行处理,以获得所述光敏薄膜晶体管的有源层。于此同时,所述光敏薄膜晶体管的有源层两侧的部分分别形成为所述光敏薄膜晶体管的源极和所述光敏薄膜晶体管的漏极。利用氢气或氩气对石墨烯材料进行处理可以使石墨烯材料由导体转化为光敏半导体。
[0107]由于光敏薄膜晶体管和开关薄膜晶体管是同步形成的,因此,在形成对应于光敏薄膜晶体管的有源层的通孔12’的同时形成对应于开关薄膜晶体管的有源层22的通孔。
[0108]由于光敏薄膜晶体管的栅极上形成有公共电极,因此,所述制造方法还包括:在形成所述光敏薄膜晶体管的栅极后,在该光敏薄膜晶体管的栅极上形成公共电极。
[0109]容易理解的是,形成所述阵列基板的步骤还可以包括形成栅绝缘层40的步骤和形成PVX保护层50的步骤。[0110]可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种用于电子纸的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括多条信号发射线、多条感应信号线和多个光敏薄膜晶体管,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极设置在所述感应信号线上,所述信号发射线与所述光敏薄膜晶体管的栅极相连,所述光敏薄膜晶体管的有源层的位置与所述电子纸中相邻两个电子墨水之间的间隙相对应。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括多条栅线、多条数据线和多个开关薄膜晶体管,所述开关薄膜晶体管的栅极与所述栅线相连,所述开关薄膜晶体管的源极设置在所述数据线上,所述开关薄膜晶体管的漏极与像素电极电连接,且所述开关薄膜晶体管的栅极与所述光敏薄膜晶体管的栅极位于同一层,所述开关薄膜晶体管的源极和漏极与所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极位于同一层,所述开关薄膜晶体管的有源层与所述光敏薄膜晶体管的有源层位于同一层,且所述开关薄膜晶体管的有源层上方设置有用于挡光的挡光金属层。
3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述光敏薄膜晶体管的漏极与开关薄膜晶体管的源极连接,所述感应信号线与所述数据线形成为一体。
4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述光敏薄膜晶体管的栅极上形成有公共电极,所述信号发射线与所述栅线形成为一体。
5.根据权利要求2至4中任意一项所述的阵列基板,其特征在于,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极与所述光敏薄膜晶体管的有源层位于同一层, 所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极由碳纳米管材料制成,所述光敏薄膜晶体管的有源层由利用紫外线照射氧气处理过的碳纳米管材料制得;或者 所述光敏薄膜晶体管 的源极和漏极由石墨烯材料制成,所述光敏薄膜晶体管的有源层由利用氢气或氩气处理石墨烯材料制得。
6.根据权利要求2至4中任意一项所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板的最顶层设置有像素电极,所述像素电极与所述开关薄膜晶体管的漏极电连接。
7.一种电子纸,该电子纸包括对盒的阵列基板和透明电极基板,所述电子纸还包括设置在所述阵列基板和所述透明电极基板之间的电子墨水,其特征在于,所述阵列基板为权利要求I至6中任意一项所述的阵列基板,所述电子纸还包括触摸驱动电路和触摸控制电路,所述触摸驱动电路包括触摸驱动单元和触摸感应单元,所述触摸驱动单元与所述信号发射线相连,向所述信号发射线提供触控驱动信号,所述触摸感应单元与所述感应信号线相连,向所述感应信号线提供感应信号,所述触摸控制电路与所述感应信号线相连,且所述触摸控制电路能够接收所述感应信号线的电信号。
8.根据权利要求7所述的电子纸,其特征在于,所述电子纸的工作周期包括触控周期和显示周期,所述电子纸还包括显示控制器,所述阵列基板的栅线和数据线与所述显示控制器电连接,在所述触控周期内,所述触摸驱动电路提供所述触控驱动信号和所述感应信号,在所述显示周期内,所述显示控制器提供显示信号。
9.一种用于电子纸的阵列基板的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括: 形成包括信号发射线和光敏薄膜晶体管的栅极的图形,其中,所述光敏薄膜晶体管的栅极与所述信号发射线相连; 在阵列基板上对应于电子纸的两个电子墨水之间的间隙的位置形成包括所述光敏薄膜晶体管的有源层的图形;形成包括所述光敏薄膜晶体管的源极、漏极以及感应信号线的图形,其中,所述光敏薄膜晶体管的源极和所述光敏薄膜晶体管的漏极设置在所述感应信号线上。
10.根据权利要求9所述的制造方法,其特征在于,在形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的同时形成阵列基板的开关薄膜晶体管的有源层; 在形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的同时形成所述开关薄膜晶体管的源极和漏极以及所述阵列基板的数据线; 在形成所述光敏薄膜晶体管的栅极的同时形成所述开关薄膜晶体管的栅极以及所述阵列基板的栅线; 在所述开关薄膜晶体管的有源层的上方形成包括挡光金属层的图形,该挡光金属层与所述开关薄膜晶体管的有源层间隔设置,且遮挡射向所述开关薄膜晶体管的有源层的光线。
11.根据权利要求10所述的制造方法,其特征在于,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极与开关薄膜晶体管的源极和漏极串联,所述感应信号线与所述数据线形成为一体;和/或,所述信号发射线与所述栅线形成为一体。
12.根据权利要求10所述的制造方法,其特征在于,形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的步骤以及形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的步骤同步进行,包括: 利用碳纳 米管材料形成导电材料层; 在所述导电材料层上涂敷光刻胶; 对所述光刻胶上与所述光敏薄膜晶体管的有源层对应的部分进行半曝光后灰化,形成对应于所述光敏薄膜晶体管的有源层的通孔; 利用氧气对由所述通孔对应的材料进行处理,然后利用紫外线照射经氧气处理的碳纳米管材料,以获得所述光敏薄膜晶体管的有源层,所述光敏薄膜晶体管的有源层两侧的部分分别形成为所述光敏薄膜晶体管的源极和所述光敏薄膜晶体管的漏极。
13.根据权利要求10所述的制造方法,其特征在于,形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的步骤以及形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的步骤同步进行,包括: 利用石墨烯材料形成导电材料层; 在所述导电材料层上涂敷光刻胶; 对所述光刻胶上与所述光敏薄膜晶体管的有源层对应的部分进行半曝光后灰化,形成对应于所述光敏薄膜晶体管的有源层的通孔; 利用氢气或氩气对由所述通孔对应的材料进行处理,以获得所述光敏薄膜晶体管的有源层,所述有源层上两侧的部分分别形成为所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极。
14.根据权利要求10至13中任意一项所述的制造方法,其特征在于,所述制造方法还包括: 在形成所述光敏二极管的栅极后,在该光敏二极管的栅极上形成公共电极。
【文档编号】H01L27/12GK103972241SQ201410155963
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年4月17日 优先权日:2014年4月17日
【发明者】田宗民, 张金中, 谢振宇 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方光电科技有限公司


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